超纯水设备是一种专门用于制备用水的机器，其特点是能够去除水中所有的杂质和污染物。这种设备的部件是反渗透膜组件或纳滤膜组。它们通过选择性的过滤来除去水和废水中的各种离子、有机物和其他污染物质。
除了以上两种主要元件外,该系统还包括预处理单元(石英砂器)、增压泵以及精密流量计等配件组成。其中预处理器主要用于软化原水并除掉其中的悬浮固体;而增压泵则能使水流在压力下透过RO/NF膜达到脱盐的目的；精细的计量仪器可以随时监控出水水质和水量并及时作出调整以保证产品水量恒定且达标. 此外，为了更好地满足用户需求及控制生产成本还可以采用多介质过滤器 、活性碳吸附器 等作为补充装置对进水进行深度处理。
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